一月

華懋科技投資5.8億進軍光刻膠領(lǐng)域

1月3日，華懋科技旗下產(chǎn)業(yè)基金——東陽凱陽科技創(chuàng)新發(fā)展合伙企業(yè)對外投資公告稱，東陽凱陽于2020年12月30日，與傅志偉、上海博康、徐州博康簽署了《投資協(xié)議》及其附屬文件。華懋科技通過東陽凱陽對徐州博康進行投資，將切入半導體關(guān)鍵材料光刻膠領(lǐng)域。

上海新陽：預計ASML-1400光刻機3月底前進入合作方現(xiàn)場

1月5日，上海新陽發(fā)布公告稱，公司與北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司簽署《合作框架協(xié)議》，雙方將合作在北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司指定工廠搭建光刻膠驗證平臺。

未來公司采購的用于193nm ArF干法光刻膠研發(fā)的ASML-1400光刻機將放置于合作方指定的地點，待底座安裝完成后，即可進行調(diào)試使用。預計光刻機進入合作方現(xiàn)場的時間是2021年3月底前。

圣泉集團IPO過會，擬募資12億布局光刻膠上游材料等

1月7日，中國證券監(jiān)督管理委員會召開第十八屆發(fā)行審核委員會2021年第4次發(fā)審委會議，濟南圣泉集團股份有限公司（首發(fā)）獲通過。

根據(jù)招股說明書顯示，公司本次擬公開發(fā)行不超過1億股人民幣普通股，不低于本次發(fā)行后股本的10%，募集資金扣除發(fā)行費用后，將根據(jù)輕重緩急投資以下項目：

來源：圣泉集團

晶瑞股份7000萬引入ArF光刻機

1月19日，晶瑞股份發(fā)布了“關(guān)于購買光刻機設(shè)備進展情況的公告”。公告表示，公司順利購得ASML XT 1900 Gi型光刻機一臺。

采購的光刻機設(shè)備為ASML XT 1900 Gi型ArF浸入式光刻機，可用于研發(fā)最高分辨率達28nm的高端光刻膠。該設(shè)備于2021年1月19日運抵蘇州并成功搬入公司高端光刻膠研發(fā)實驗室。

年產(chǎn)1600t光刻膠材料項目落戶山東

1月23日，山東威海南海新區(qū)舉行了2021年項目集中簽約儀式，11個項目集中簽約。此次簽約的項目包括光刻膠核心材料等項目。

其中，光刻膠核心材料項目實施主體為山東科萊福光電科技有限公司，公司成立于2020年11月。該項目建筑面積3萬平方米，計劃打造包含顏料綠G58生產(chǎn)的新材料生產(chǎn)基地。

來源：瑞祥環(huán)保監(jiān)測

二月

華為高薪聘博士攻關(guān)透明PI膜、光刻膠材料

2月消息，華為FiND上合平臺發(fā)布的招聘信息顯示，公司正在以下5項光電材料科研課題招聘博士后，分別是電子封裝材料配方研究；柔性材料研究；PFA低介電損耗材料；光敏性聚酰亞胺光敏劑及相關(guān)小分子助劑的合成及應用研究；低介質(zhì)、高耐熱高模量低CTE透明聚酰亞胺薄膜材料。

華為上海博士后科研工作站部分課題

（來源：FiND上合平臺）

彤程新材控股北京科華

2月24日，彤程新材全資子公司彤程電子與舟山寧雨簽訂了《股權(quán)轉(zhuǎn)讓協(xié)議》，根據(jù)科華微電子的資產(chǎn)評估結(jié)果，北京科華微電子材料有限公司股東全部權(quán)益價值評估值為 65,000 萬元，以該評估結(jié)果為基礎(chǔ)，最終彤程電子以4,365萬元的價格受讓舟山寧雨持有的科華微電子6.72%股權(quán)。

同日，彤程電子與持有科華微電子13.97%股權(quán)的股東 Meng Technology Inc.簽訂《一致行動協(xié)議》。本次交易完成后，彤程電子將直接持有科華微電子42.26%股權(quán)，與 MengTechnology Inc.合計持有科華微電子 56.23%股權(quán)。

三月

世名科技光敏材料、光刻膠材料項目簽約落戶安徽

世名科技發(fā)布公告稱，公司與馬鞍山慈湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)管理委員會簽訂《入?yún)^(qū)協(xié)議》，并使用自有或自籌資金2.2 億元，投資建設(shè)“年產(chǎn)56000噸先進光敏材料及1000噸光刻膠納米顏料分散液項目”。

項目產(chǎn)品主要包括30000噸光聚合單體、20000噸高性能樹脂、1000噸光刻膠納米顏料分散液、6000噸UV納米顏料色漿，預計2022年9月30日前建設(shè)完成。

中芯國際和阿斯麥采購協(xié)議延長一年，12億美元訂購光刻機

3月3日，中芯國際發(fā)布公告稱，此前與全球光刻機巨頭荷蘭阿斯麥簽署采購協(xié)議延長一年，根據(jù)采購協(xié)議簽署的購買單總價格逾12億美元。中芯國際未具體披露這次采購協(xié)議涉及哪些具體產(chǎn)品。

公開消息顯示，2020年3月，中芯國際深圳工廠從荷蘭進口了一臺大型光刻機，但這臺光刻機并非用于7納米的EUV光刻機。另外，2018年中芯國際曾向阿斯麥下單了一臺EUV光刻機，但由于美國方面的阻擾，這臺機器至今還未交付。

上海新陽ASML-1400光刻機交付

3月8日，上海新陽發(fā)布公告稱，公司自立項開發(fā)193nmArF干法光刻膠的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目以來，安排購買了ASML-1400光刻機等核心設(shè)備，并于2020年12月14日在《關(guān)于公司申請向特定對象發(fā)行股票的審核問詢函的回復》中披露。

現(xiàn)經(jīng)各方積極協(xié)商、運作，該光刻機設(shè)備已進入北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司場地，后續(xù)將進行安裝調(diào)試等相關(guān)工作。

飛凱材料“半導體制造先進材料項目”落戶江蘇

3月9日，總投資2億元的“飛凱材料半導體制造先進材料項目”簽約儀式在江蘇太倉港區(qū)舉行。

飛凱材料半導體制造先進材料項目將建設(shè)產(chǎn)線生產(chǎn)半導體制造及封裝過程中的光刻膠、金屬沉積液、剝離液、顯影液、清洗液、蝕刻液等產(chǎn)品。

徐州博康年產(chǎn)1100噸光刻材料項目或于6月投產(chǎn)

近日，據(jù)徐州新聞網(wǎng)報道稱，徐州博康信息化學品有限公司為擴大產(chǎn)能和延伸產(chǎn)業(yè)鏈，新建“年產(chǎn)1100噸光刻材料及10000噸電子級溶劑搬遷技改項目”，目前，該項目正在忙著安裝調(diào)試設(shè)備，以保證6月份順利投產(chǎn)。

飛凱材料“半導體制造先進材料項目”落戶江蘇

3月25日，江蘇南大光電材料有限公司發(fā)布創(chuàng)業(yè)板上市募集說明書，據(jù)說明書顯示，南大光電擬募資6.13億元，本次募集資金投資項目建成后產(chǎn)出的產(chǎn)品包括ArF光刻膠和三氟化氮，主要應用于集成電路制造、平面顯示等行業(yè)，其中，光刻膠相關(guān)項目擬募資金額為3億元。

四月

新型顯示迎政策利好，光刻膠等將獲進口稅收優(yōu)惠支持

4月13日，中國財政部、海關(guān)總署、國家稅務總局公布《關(guān)于2021-2030年支持新型顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展進口稅收政策的通知》。

《通知》表示，自2021年1月1日至2030年12月31日，對以下產(chǎn)品免征進口關(guān)稅——

新型顯示器件（即薄膜晶體管液晶顯示器件、有源矩陣有機發(fā)光二極管顯示器件、Micro-LED顯示器件，下同）生產(chǎn)企業(yè)進口中國國內(nèi)不能生產(chǎn)或性能不能滿足需求的自用生產(chǎn)性原材料、消耗品和凈化室配套系統(tǒng)、生產(chǎn)設(shè)備（包括進口設(shè)備和國產(chǎn)設(shè)備）零配件；

新型顯示產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵原材料、零配件（即靶材、光刻膠、掩模版、偏光片、彩色濾光膜）生產(chǎn)企業(yè)進口國內(nèi)不能生產(chǎn)或性能不能滿足需求的自用生產(chǎn)性原材料、消耗品。

承建新型顯示器件重大項目的企業(yè)自2021年1月1日至2030年12月31日期間進口新設(shè)備，除《國內(nèi)投資項目不予免稅的進口商品目錄》、《外商投資項目不予免稅的進口商品目錄》和《進口不予免稅的重大技術(shù)裝備和產(chǎn)品目錄》所列商品外，對未繳納的稅款提供海關(guān)認可的稅款擔保，準予在首臺設(shè)備進口之后的6年期限內(nèi)分期繳納進口環(huán)節(jié)增值稅，6年內(nèi)每年依次繳納進口環(huán)節(jié)增值稅總額的0%、20%、20%、20%、20%、20%，自首臺設(shè)備進口之日起已經(jīng)繳納的稅款不予退還。在分期納稅期間，海關(guān)對準予分期繳納的稅款不予征收滯納金。

泛林集團發(fā)布突破性光刻膠技術(shù)

泛林集團與ASML和imec合作研發(fā)出了一種完全不同于旋轉(zhuǎn)涂膠的突破性光刻膠技術(shù)。泛林集團表示，這種技術(shù)可通過使用氣相的反應前體制出均勻且一致的薄膜。

這項新技術(shù)需要用干法沉積微�。�

國科天驥光刻膠項目在濱州試生產(chǎn)

4月29日上午，國科天驥新材料有限責任公司“光刻膠濱州生產(chǎn)園區(qū)交付暨試生產(chǎn)儀式”在山東濱州經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)舉行。該項目投產(chǎn)后將主要用于芯片核心材料——高檔光刻膠的研發(fā)生產(chǎn)。

國科天驥的“超高精細光刻膠項目”總投資為1.03億元。項目一期建成后可達到年產(chǎn)2000L超高精細光刻膠的生產(chǎn)規(guī)模，二期項目建成后可達到年產(chǎn)15000L超高精細光刻膠的生產(chǎn)規(guī)模。

五月

光刻機巨頭ASML計劃在韓國建廠

據(jù)外媒消息，韓國貿(mào)易工業(yè)與能源部（MOTIE）對當?shù)孛襟w表示，全球光刻機龍頭企業(yè)——阿斯麥爾（ASML）已計劃在韓國辦廠并打造培訓中心。

ASML將在未來四年內(nèi)，向韓國投資2400億韓元（折合人民幣約13.61億元），在當?shù)卮蛟煲粋�再制造廠（remanufacturing）以及培訓中心等基礎(chǔ)設(shè)施。

建設(shè)最先進5nm工藝，三星首次在海外設(shè)立EUV生產(chǎn)線

據(jù)etnews消息，三星電子將在美國德克薩斯州奧斯汀市建設(shè)極紫外線（EUV）鑄造（寄售生產(chǎn)）生產(chǎn)線，這是三星首次在海外設(shè)立EUV生產(chǎn)線。

三星電子奧斯汀半導體工廠（圖片來源：etnews）

據(jù)業(yè)內(nèi)消息，此項工程將在2021年第三季度開始建設(shè)，預計于2024年開始運營。三星電子計劃在新的圓晶廠中采用5nm工藝，也是迄今為止三星電子商業(yè)化的半導體工藝中最先進的工藝。

南大光電募資1.5億用于光刻膠項目

5月24日，南大光電發(fā)表向特定對象發(fā)行股票并在創(chuàng)業(yè)板上市募集說明書 。本次向特定對象發(fā)行股票的募集資金總額不超過61,300.00萬元，其中，擬使用1.5億元用于光刻膠項目。

來源：南大光電募集說明書

本次募投項目建設(shè)完成后，各產(chǎn)品預計產(chǎn)能如下：

來源：南大光電募集說明書

東進世美肯新半導體光刻膠工廠全面運營

據(jù)韓媒報道，5月25日，東進世美肯在京畿道華城巴蘭的工廠舉行了新光刻膠制造大樓的竣工儀式和產(chǎn)品交付儀式，其投資200億韓元的新半導體光刻膠工廠全面運營。首席執(zhí)行官Jun-h-hyuk表示計劃在這里生產(chǎn)EUV光刻膠。

據(jù)悉，東進世美肯新工廠于去年4月開始建設(shè)，同年12月正式投入生產(chǎn)和經(jīng)營。它的總建筑面積為3400平方米。據(jù)了解，新工廠的最大產(chǎn)能為每月32000加侖（約合121133.18升），是當前生產(chǎn)能力的四倍。

廣信材料光刻膠項目正籌備廠房，計劃今年進行產(chǎn)品試制

5月26日，廣信材料在回答投資者提問時表示，公司光刻膠項目目前正在籌備廠房和擴充團隊過程中，并計劃今年進行產(chǎn)品試制和客戶開拓。

廣信材料于2018年11月25日與廣至新材料有限公司（中國臺灣企業(yè)）簽訂了《技術(shù)委托開發(fā)合同》，委托臺灣廣至合作研究開發(fā)“印刷電路板柔性基板用等用途的紫外光型正型光刻膠”技術(shù)項目（下稱光刻膠技術(shù)開發(fā)項目），項目可應用于印刷電路板柔性基板、LCD及LED顯示面板、半導體元器件等領(lǐng)域的高分辨率紫外光型正型光刻膠，產(chǎn)品可以使用水性顯影液顯影。

三井化學在全球率先商業(yè)化生產(chǎn)EUV薄膜，已獲ASML許可

5月26日，三井化學發(fā)布公告，宣布已開始商業(yè)化生產(chǎn)EUV防護膜，公司已獲得荷蘭光刻機廠ASML的EUV薄膜業(yè)務許可協(xié)議，將在全球率先進行EUV薄膜商業(yè)化生產(chǎn)，地點位于新設(shè)立的巖國大竹工廠。

三井化學將通過EUV防護膜等與ICT領(lǐng)域相關(guān)產(chǎn)品，積極響應客戶對技術(shù)創(chuàng)新的要求，例如為半導體的進一步小型化做貢獻。未來，三井化學將與ASML合作，配合EUV曝光機的演進，改進和創(chuàng)新EUV薄膜技術(shù)。

六月

Miwon將向三星供應大量KrF光刻膠原料

6月2號，據(jù)韓網(wǎng)報道，隨著三星將其3D NAND從第6代升級到第7代，韓國化學公司Miwon Commercial（美源商事株式會社，以下簡稱Miwon）可能會向三星提供更多的KrF光刻膠原料。

Miwon成立1959年，是一家擁有60多年歷史的化學品制造公司，開發(fā)并商業(yè)化了多種高附加值精細化工產(chǎn)品，如表面活性劑、光敏劑、紫外線穩(wěn)定劑和抗氧化劑。

彤程電子年產(chǎn)1.1萬噸光刻膠項目順利開工

近日，上海彤程電子材料有限公司“半導體光刻膠及高純試劑項目”已在上�；瘜W工業(yè)區(qū)順利開工，計劃年內(nèi)機械竣工。

據(jù)了解，該項目投資5.6988億元，在上海化學工業(yè)區(qū)建設(shè)年產(chǎn)1.1萬噸半導體、平板顯示用光刻膠及2萬噸相關(guān)配套試劑項目，預計于2021年末建成投產(chǎn)，2022年具備一定生產(chǎn)能力，2025年達產(chǎn)。

信越化學宣布斷供光刻膠

據(jù)集微網(wǎng)報道，由于KrF光刻膠產(chǎn)能受限以及全球晶圓廠積極擴產(chǎn)等原因，日本信越化學已經(jīng)向中國大陸多家一線晶圓廠限制供貨KrF光刻膠，甚至已通知部分中小晶圓廠停止供貨KrF光刻膠，國內(nèi)多家晶圓廠將會面臨KrF光刻膠大缺貨的處境。

東京電子宣布為ASML提供下一代EUV設(shè)備

6月8日，東京電子（Tokyo Electron）宣布公司將向同行業(yè)的荷蘭ASML和比利時的研究機構(gòu)imec聯(lián)合運營的“imec-ASML high NA EUV實驗室”供應新一代設(shè)備。

據(jù)悉，該設(shè)備將與ASML的下一代EUV（極紫外）光刻設(shè)備相組合，計劃于2023年投入使用。

南大光電ArF光刻膠產(chǎn)品拿下首個小批量訂單

6月11日，南大光電在深交所互動易投資者互動平臺回答提問時稱，公司ArF光刻膠產(chǎn)品拿到首個小批量訂單，本期有極少量銷售額。目前尚未實現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)。此外，南大光電表示目前正在自主研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的ArF光刻膠產(chǎn)品，可以用于90nm-14nm的集成電路工藝節(jié)點。

此前，南大光電于5月31日發(fā)布公告稱，其控股子公司寧波南大光電材料有限公司自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品在邏輯芯片制造企業(yè)55nm技術(shù)節(jié)點的產(chǎn)品上取得了認證突破。

晶瑞股份KrF光刻膠已進入客戶測試階段

6月22日，晶瑞股份在投資者互動平臺中表示，公司的KrF光刻膠完成中試，建成了中試示范線，目前已進入客戶測試階段，達到0.15μm的分辨率，測試通過后即可進入量產(chǎn)階段；公司ArF高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動，旨在研發(fā)滿足90-28nm芯片制程的ArF（193nm）光刻膠，滿足當前集成電路產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵材料市場需求；公司半導體光刻膠g/i線光刻膠正在批量供貨，產(chǎn)銷兩旺。

光引發(fā)劑廠商四川沃肯投建國內(nèi)光刻膠材料研發(fā)平臺

據(jù)兩江新區(qū)官網(wǎng)報道，近日，兩江新區(qū)與四川沃肯精細化工有限公司（以下簡稱“沃肯精細化工”）簽訂協(xié)議，沃肯精細化工將在兩江新區(qū)投資建設(shè)其國內(nèi)首個研發(fā)平臺，進行生物醫(yī)藥、國產(chǎn)光刻膠、有機合成工業(yè)安全等方面研究。

該項目將入駐兩江新區(qū)水土新城大地生物醫(yī)藥產(chǎn)業(yè)園，預計今年年底建成投入使用。沃肯精細化工光刻膠產(chǎn)品的后續(xù)研發(fā)工作將在兩江新區(qū)進行，致力于高端光刻膠產(chǎn)品的研發(fā)攻關(guān)。

國風塑業(yè)與中科大合作，開展PI及光刻膠研發(fā)

6月27日，安徽國風塑業(yè)股份有限公司發(fā)布公告稱，公司近期與中國科學技術(shù)大學先進技術(shù)研究院（以下簡稱“中科大先研院”）簽署了《中國科學技術(shù)大學先進技術(shù)研究院與安徽國風塑業(yè)股份有限公司共建中科大先研院-國風塑業(yè)新型顯示與集成電路PI材料聯(lián)合實驗室合作協(xié)議》，決定共同建立“中科大先研院-國風塑業(yè)新型顯示與集成電路PI材料聯(lián)合實驗室”。

雙方在聯(lián)合實驗室開展新型顯示與集成電路PI材料等相關(guān)方向研究，共同開展柔性襯底PI漿料、熱塑性聚酰亞胺（TPI）復合膜、光敏聚酰亞胺（PSPI）光刻膠的研究工作。

上海新陽KrF光刻膠已取得第一筆訂單

6月30日，上海新陽發(fā)布公告稱，公司自主研發(fā)的KrF（248nm）厚膜光刻膠產(chǎn)品近日已通過客戶認證，并成功取得第一筆訂單。

KrF（248nm）厚膜光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化是上海新陽第三大核心技術(shù)——光刻技術(shù)的重要方向之一，本次產(chǎn)品認證的通過及訂單的取得，標志著“KrF（248nm）厚膜光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”取得了成功，為上海新陽在光刻技術(shù)領(lǐng)域目標的全面完成奠定了堅實基礎(chǔ)。

來源：勢銀膜鏈

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2021勢銀光刻膠產(chǎn)業(yè)大會回顧

2021年6月24日-25日，由勢銀（TrendBank）、上海彤程電子材料有限公司聯(lián)合主辦、勢銀膜鏈承辦的“2021勢銀光刻膠產(chǎn)業(yè)大會（PRIC)”在上海阿納迪酒店正式舉行。

此次峰會的主題為“需求熱潮下的光刻膠產(chǎn)業(yè)‘破局’”。為推動改善光刻膠材料及設(shè)備出現(xiàn)的“卡脖子”問題，同時也為加強行業(yè)內(nèi)產(chǎn)品與技術(shù)、市場現(xiàn)狀與趨勢的交流，本次會議，我們邀請到了行業(yè)內(nèi)的資深專家共同探討光刻膠產(chǎn)業(yè)趨勢、技術(shù)及產(chǎn)品發(fā)展。